Carmanhaas දර්පණ හෝ සම්පූර්ණ පරාවර්තක ලේසර් කුහරවල පසුපස පරාවර්තක සහ නැමීමේ දර්පණ ලෙසත්, බාහිරව කදම්බ බෙදා හැරීමේ පද්ධතිවල කදම්බ වංගු ලෙසත් භාවිතා කරයි.
සිලිකන් යනු බහුලව භාවිතා වන දර්පණ උපස්ථරයයි;එහි වාසිය වන්නේ අඩු පිරිවැය, හොඳ කල්පැවැත්ම සහ තාප ස්ථායීතාවයයි.
Molybdenum දර්පණය අතිශයින්ම දැඩි මතුපිටක් වඩාත් ඉල්ලුමක් ඇති භෞතික පරිසරයන් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.Mo දර්පණය සාමාන්‍යයෙන් පිරිනමනු ලබන්නේ ආලේප නොකරය.
| පිරිවිතර | ප්රමිති |
| Dimensional Tolerance | +0.000" / -0.005" |
| ඝනකම ඉවසීම | ± 0.010" |
| සමාන්තරවාදය : (Plano) | ≤ චාප මිනිත්තු 3 |
| පැහැදිලි විවරය (ඔප දැමූ) | විෂ්කම්භය 90% |
| මතුපිට රූපය @ 0.63um | බලය: 2 මායිම්, අක්රමිකතා: 1 වාටිය |
| Scratch-Dig | 10-5 |
| නිෂ්පාදන නාමය | විෂ්කම්භය (මි.මී.) | ET (මි.මී.) | ආලේප කිරීම |
| මෝ මිරර් | 30 | 3/6 | ආෙල්පන නැත, AOI: 45° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| සිලිකන් මිරර් | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 කි |
