Carmanhaas දර්පණ හෝ සම්පූර්ණ පරාවර්තක ලේසර් කුහරවල පසුපස පරාවර්තක සහ නැමීමේ දර්පණ ලෙසත්, බාහිරව කදම්භ බෙදා හැරීමේ පද්ධතිවල කදම්බ වංගු ලෙසත් භාවිතා කරයි.
සිලිකන් යනු බහුලව භාවිතා වන දර්පණ උපස්ථරයයි; එහි වාසිය වන්නේ අඩු පිරිවැය, හොඳ කල්පැවැත්ම සහ තාප ස්ථායීතාවයයි.
Molybdenum දර්පණය අතිශයින්ම දැඩි මතුපිටක් වඩාත් ඉල්ලුමක් ඇති භෞතික පරිසරයන් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. Mo දර්පණය සාමාන්‍යයෙන් පිරිනමනු ලබන්නේ ආලේප නොකරය.
| පිරිවිතර | ප්රමිති |
| Dimensional Tolerance | +0.000" / -0.005" |
| ඝනකම ඉවසීම | ± 0.010" |
| සමාන්තරවාදය : (Plano) | ≤ චාප මිනිත්තු 3 |
| පැහැදිලි විවරය (ඔප දැමූ) | විෂ්කම්භය 90% |
| මතුපිට රූපය @ 0.63um | බලය: 2 මායිම්, අක්රමිකතා: 1 වාටිය |
| Scratch-Dig | 10-5 |
| නිෂ්පාදන නම | විෂ්කම්භය (මි.මී.) | ET (මි.මී.) | ආලේපනය |
| මෝ මිරර් | 30 | 3/6 | ආෙල්පන නැත, AOI: 45° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| සිලිකන් මිරර් | 30 | 3/4 | HR@106um, AOI:45° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 කි |
